谷口 智哉

イオン源は放電によりプラズマを発生させて、所望のイオンを引き出す。放電を利用していることから、大電流が流れてしまいエラーを頻発することがある。エラーが頻発するとメンテナンスすることになるので、大きな時間の損失につながる。 安定してビームを引き出すことを目的に、混合ガスを使用し、ビーム引き出し時間を約1.25倍向上させることに成功した。