東京工業大学大学院修士課程 / 電気電子系・原子核工学コース
国際会議発表(42nd International Symposium on Dry Process)
Title: Effect of Metastable Quenching by Oxygen Admixture on Excited-State Populations of Low-Pressure Ar Plasma Author: Yusuke Tsuchiya, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka