私たち株式会社明電舎は、インフラを支える重電メーカーとして国内外で事業を展開する会社です。
■明電舎とは■
明電舎は発電・変電・送電などの電力インフラや、水のろ過処理、電気自動車のモーター、自動車試験装置など、生活に大きく関わるインフラ事業を中心に国内、海外で幅広く事業展開をしています。
これからも業界トップランナーとして、グループ企業とともに人びとの暮らしを豊かにする技術を研究・開発し、社会の発展に貢献していきます。現在は、ピュアオゾン(純度100%オゾン)ジェネレータおよび成膜装置の開発・設計・販売を行う「明電ナノプロセス・イノベーション株式会社」を設立し、あらたな事業分野にもチャレンジしています。
■明電ナノプロセス・イノベーションの事業内容■
ピュアオゾンジェネレータ、および成膜装置の開発・設計・製造・販売を行っています。
明電ナノプロセス・イノベーションは、株式会社明電舎の子会社として2020年にスタートしました。明電舎が長年に渡り培ってきた独自の「高純度オゾン精製技術」を引き継いでいます。
・ALD/OER成膜装置の販売:
2020年4月より販売開始となる自社開発の新製品です。ピュアオゾン発生装置と成膜処理チャンバーを組み合わせました。
ピュアオゾンガスを使うことで、プラズマによる成膜と比較し、常温環境においても膜中の不純物含有量を少なく抑えられます。ダメージレスで高品質な金属酸化膜の成膜が可能になりました。